フレークの発生を防ぐ：ウェーハの硬化処理の仕組み
クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、「少し程度の」ほこりなど存在しません。わずかなフレークや、安価な加熱素子から発生するガスだけで、そのロット全体のシリコンが無駄になってしまいます。本当に厄介な問題です。
そのため、私たちは通常の材料を使わないのです。IR硬化ランプや反射板には高純度の合成石英を使用しています。
秘密はシリカにあります。
ほとんどのランプは普通の石英を使用していますが、私たちは不純物を除去して金属イオンの移動を防ぎます。もし、ランプが動作中に煙を出すのを見たことがあれば、私たちが何を避けているのかすぐにわかるでしょう。石英管をしっかりと密封することで、ハロゲンガスが作業エリアに漏れ出るのを防ぎます。そうすれば、環境は常に清潔な状態を保たれます。
次に反射板です。
反射板の品質が悪ければ、ランプはほとんど役に立ちません。私たちは、短波長のIR光を正確にウェーハに当てるように反射板を設計しています。エネルギーが集中されるため、機械の他の部分が余分な熱を吸収することはありません。その結果、真空封止装置や取り付けブラケットも冷たいままでいられ、より高いワット数を使用しても問題ありません。
ただし、注意が必要です。
これらのランプは非常に高温になります。本当に高い温度です。
硬化処理に必要な迅速な加熱が可能ですが、冷却システムが十分でなければ、ランプが早く壊れてしまいます。十分な空気流量がなければ、フィラメントがすぐに焼き切れてしまいます。必ず厳格な冷却スケジュールを守ってください。そうすれば、お金も節約できます。
私たちは、半導体製造装置用の簡単な交換部品としてこれらのランプを製造しています。余計な機能はなく、ウェーハをきれいな状態に保つための高純度な材料だけが使われています。