スマートファブにおける熱管理の仕組み スマートファブを構築するということは、単にセンサーを機器に取り付けて、うまくいくことを願うだけではありません。実際には、熱をどのように捉えるかという視点を変えることが重要です。 ウェーハの処理においては、非接触型の赤外線センサーが使用されています。赤外線センサ...

フレークの発生を防ぐ：ウェーハの硬化処理の仕組み クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、「少し程度の」ほこりなど存在しません。わずかなフレークや、安価な加熱素子から発生するガスだけで、そのロット全体のシリコンが無駄になってしまいます。本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは通常の材料を使...

無駄なエネルギーの消費をやめましょう 正直に言って、ウェーハを加熱するのはかなり面倒な作業です。もし通常のクォーツランプを使っている場合、実際に製品に届かないエネルギーの代金を払っていることになります。そのランプはあらゆる方向に熱を放出します。その半分は単に機械の筐体内で捨てられてしまいます。これ...

MEMSウェーハの乾燥処理におけるランプの爆発という悪夢を防ぐには、高負荷な生産環境で働いたことがある人ならそのストレスを理解しているでしょう。しかし、MEMSウェーハの乾燥処理中にIRランプが爆発するというのは、最悪の事態です。 問題は単にラインが停止するだけではありません。その後の対応も大変で...

なぜ無鉛半導体の製造に赤外線硬化技術を採用するのか 業界では「グリーン」で無鉛の基準へと移行しようとしています。理論上は素晴らしいことですが、実際の製造工程では困難が伴います。 長年にわたり、私たちは対流式オーブンを使用してきました。問題点は、実質的には巨大な空気の箱を温めているだけということです...

空気を加熱するのをやめよう：ウェーハを処理するためのより合理的な方法 もし実際に工場内でカーボンニュートラルを達成したいのであれば、古い方式の抵抗式オーブンに頼るのはやめなければなりません。そうしたオーブンはエネルギーを多く消費します。代わりに、精密なIR加熱方式が採用されています。 その原理は簡...

ファブ内では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動があっただけで、ウェーハの寸法が狂い、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。従来のオーブンは、ウェーハ自体ではなくチャンバー全体を加熱します。私たちは、熱を必要な場所、つまりウェーハそのものに直接当てるようなゾーン別加熱方式を採用しました...

製造現場では、プローブカードがスコープの下で待機しており、次のロットの処理を行う準備が整っています。ウェハの温度がわずかに変動しても、パラメータの範囲が狭まり、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、プローブが接触する直近の位置でその温度変動を防ぐために、このウェハ用プローブヒーターを開発しました...

製造現場では、各ウェーハには一定の熱容量があり、それを超えてはいけません。ソフトベイクやハードベイクの際にわずかな温度変動があっても、線幅のばらつきや不良品の発生、歩留まりの低下といった問題が生じます。赤外線ウェーハヒーターランプのコストというのは、単に注文時に支払う金額だけではありません。それは...