ウェーハツール用温度センサー

スマートファブにおける熱管理の仕組み スマートファブを構築するということは、単にセンサーを機器に取り付けて、うまくいくことを願うだけではありません。実際には、熱をどのように捉えるかという視点を変えることが重要です。 ウェーハの処理においては、非接触型の赤外線センサーが使用されています。赤外線センサ...