MEMSウェーハの乾燥処理におけるランプの爆発という悪夢を防ぐには、高負荷な生産環境で働いたことがある人ならそのストレスを理解しているでしょう。しかし、MEMSウェーハの乾燥処理中にIRランプが爆発するというのは、最悪の事態です。
問題は単にラインが停止するだけではありません。その後の対応も大変です。クォーツの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降りかかってきます。これは完全な破局です。私たちは、このような事態が起こらないようにする方法をずっと模索してきました。
耐久性の高いランプの製造 ほとんどのランプが壊れるのは、「ホットスポット」や接合部の応力が原因です。通常は、ガラスが熱に追いつけずに割れてしまいます。
これを解決するために、私たちは高純度の融着石英を使用し、壁厚を厚くしています。また、フィラメントの位置も丁寧に調整します。そうすることで、管全体に均一に熱が分布し、ガラスが圧力に耐えられるようになります。
汚れの防止 どんなに優れた製品であっても、バックアッププランは必要です。
私たちは、ヒーターを保護用のクォーツカバーや特殊な保護装置に収めるように設計しています。これは一種の保険のようなものです。もし管が壊れても、保護装置が破片をウェーハに当たる前に防ぎます。
また、電気的な側面も重要です。接続部分が緩むことでアークが発生し、ランプが壊れるケースも多々あります。これは非常に厄介な状況です。私たちは精密に調整されたコネクタを使用し、電気的なホットスポットを事前に防ぎます。
現実的な妥協点 正直に言うと、高出力の短波ランプは非常に強力です。速い乾燥を実現するために必要な熱密度を提供しますが、同時に大量の放射熱も発生します。
単に出力を最大限に上げても無駄です。適切な冷却システムが必要です。もし空気の流れが悪ければ、熱が封止部分を劣化させ、ランプの寿命を短くしてしまいます。
私のアドバイスは、ケースの温度をしっかり監視することです。また、メンテナンスチームには500時間ごとに端子の張力をチェックするように伝えてください。少し時間はかかりますが、大規模な故障を防ぐことができます。