半導体ヒーター用熱電対

キャビネットの壁を加熱するのはやめましょう ほとんどの加熱素子は、電球のようにあらゆる方向に熱を放ちます。狭い半導体製造室では、これは大変な問題です。装置の壁を加熱するだけで、大量のエネルギーが無駄に消費されてしまいます。 実際、ウェーハは適切な温度に達しますが、キャビネットの外側の表面があまりに...