高温環境下でウェーハを清潔に保つ方法 大量生産ラインを運用している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。ランプが壊れてしまうと、クォーツの破片や蒸発したタングステンがウェーハに降り注ぎます。これは単なる停止時間の問題ではなく、一括での製品損傷という大災害につながります。 だからこそ、私たちは金...

フレークの発生を防ぐ：ウェーハの硬化処理の仕組み クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、「少し程度の」ほこりなど存在しません。わずかなフレークや、安価な加熱素子から発生するガスだけで、そのロット全体のシリコンが無駄になってしまいます。本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは通常の材料を使...

赤外線ヒーターと揮発性化学物質が接触したときの安全対策 正直に言って、赤外線ランプを化学洗浄ラインに設置するのは少し心配なことです。火災や爆発を引き起こしやすい溶剤を扱う場合、わずかな火花や露出した部品だけでも、単なる技術的な問題ではなく、大惨事を招く可能性があります。 そのため、私たちは単にラン...