無駄なエネルギーの消費をやめましょう
正直に言って、ウェーハを加熱するのはかなり面倒な作業です。もし通常のクォーツランプを使っている場合、実際に製品に届かないエネルギーの代金を払っていることになります。そのランプはあらゆる方向に熱を放出します。その半分は単に機械の筐体内で捨てられてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
私たちはより良い方法を見つけ出しました。金メッキされた反射器を使って、余分なエネルギーを取り込み、再びウェーハに向けて送り返すのです。
なぜ金なのか？
なぜ単に研磨されたアルミニウムを使わないのか疑問に思うかもしれません。アルミニウムは目に見える部分には適していますが、ここでは赤外線を扱っているのです。金の方がこの用途には適しています。金は赤外線を非常に効率的に反射します。金メッキされた表面を使えば、ランプが発生するほぼすべてのエネルギーがターゲットに届きます。電圧を変えたり、出力を上げたりする必要もありません。これは単純に物理法則に基づく最適な解決策です。
注意点（必ずあるものです）
問題は、これだけ多くのエネルギーを狭い範囲に集中させると、機器に大きな負荷がかかるということです。ランプのケースも熱を感じることになります。
冷却システムが不十分だと、問題が起きます。十分な空気の流れがなければ、電極が酸化して、本来よりも早く壊れてしまいます。冷却システムがその強度に対応できるかどうかを確認する必要があります。
通常、これらの反射器は短波ハロゲン光源と一緒に使用されます。その結果、ウェーハの温度は数秒で上昇します。とても速いです。これにより、毎日の処理能力が大幅に向上します。
導入方法
最良の点は、これを実現するために全ての設備を分解する必要がないということです。これらの装置は簡単に取り付けられます。反射器は既存のランプに合わせて作られているので、電源や配線を変更する必要はありません。単に従来のランプをこの集中型システムに交換するだけです。
そうすることで、1枚のウェーハあたりに必要な総エネルギー量は減りますが、表面温度は望ましい値を維持できます。シンプルです。