スマートホームを本当に快適な空間にするために 私たちがIP65等級の赤外線ヒーターを開発したのは、高出力とスマート技術との間の矛盾を解消するためです。 「IP65」というのは一見地味な仕様値のように思えますが、実際には、その装置がしっかりと密封されていることを意味します。ほこりが中に入らず、水がか...

半製品の炭素削減：なぜ短波赤外線が最適なのか 正直に言えば、従来の抵抗炉はエネルギーの無駄遣いがひどい。ウェハーを加熱するために、チャンバ全体を温めるのに多大な時間がかかってしまう。これは明らかにエネルギーの浪費だ。 そのため、私たちは短波赤外線ランプを採用しました。周囲のものを温めるのではなく、...

ファブ内では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動があっただけで、ウェーハの寸法が狂い、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。従来のオーブンは、ウェーハ自体ではなくチャンバー全体を加熱します。私たちは、熱を必要な場所、つまりウェーハそのものに直接当てるようなゾーン別加熱方式を採用しました...