半導体製造用の装置が「オーブン」のようになってしまうのを防ぎましょう。 通常の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。そのような石英ランプを狭い金属製のケースに入れると、莫大なエネルギーがケースの壁面に当たります。これにより、装置の筐体自体が巨大な放熱器のようになってしまいま...

熱の無駄遣いをやめよう：IRランプをより効率的に扱う方法 ほとんどのIRランプは、あらゆる方向に熱を放出してしまいます。つまり、360度全方向に放射されるのです。もし、スペースが限られている半導体製造装置を使用している場合、これは大きな問題になります。 装置の内壁がその余分なエネルギーを吸収してし...

なぜUHP赤外線硬化法が、グリーン半導体製造にとって最適な手段なのか 半導体業界は、鉛を含まない材料を使用し、炭素排出量を削減するという大きなプレッシャーにさらされています。これは難しいバランスを取る必要があります。しかし、生産効率を損なわずに環境目標を達成したいのであれば、UHP（超純度）赤外線...

フレークの発生を防ぐ：ウェーハの硬化処理の仕組み クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、「少し程度の」ほこりなど存在しません。わずかなフレークや、安価な加熱素子から発生するガスだけで、そのロット全体のシリコンが無駄になってしまいます。本当に厄介な問題です。 そのため、私たちは通常の材料を使...

IRランプを使用する際のクリーンルームの安全保持法 正直に言って、化学洗浄液がある場所でIRランプを使うのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の溶剤や揮発性の液体がある状況では、普通の石英管を使うのは危険すぎます。それは単なるリスクだけでなく、大きな問題にもなり得ます。 そのため、私たちはクリ...

揮発性化学物質を扱う際の安全対策 正直に言って、可燃性化学物質の近くでIR硬化装置を使うのは非常に危険です。爆発性の清掃剤を扱う場合、普通の加熱要素を使っただけでは不十分です。わずかなスパークやシールの破損だけでも、大惨事につながりかねません。 だからこそ、私たちは認定済みのランプを特別に設計して...

FABのランプを清潔に保つために：クォーツシールドの役割 もし、FABで無鉛で環境に優しい乾燥処理を行いたいと考えているなら、IR照射が最適な方法だということはお分かりでしょう。しかし、問題は、IRランプが非常に敏感であるという点です。そこで役立つのがクォーツガラス製のシールドです。これは、ランプ...

赤外線ヒーターと揮発性化学物質が接触したときの安全対策 正直に言って、赤外線ランプを化学洗浄ラインに設置するのは少し心配なことです。火災や爆発を引き起こしやすい溶剤を扱う場合、わずかな火花や露出した部品だけでも、単なる技術的な問題ではなく、大惨事を招く可能性があります。 そのため、私たちは単にラン...

遅い加熱の時間を無駄にしないでください 正直に言って、強制対流式の加熱方法は非効率的です。つまり、空気を温めるだけで、その空気が最終的に基板を温めるというわけです。半導体の精密加工の世界では、このような遅れが大きな問題となります。生産効率が低下し、何時間もの時間が浪費されてしまいます。 この問題を...

半導体の洗浄工程をより効率的に行う方法 正直に言って、半導体製造工場における洗浄工程では、エネルギーが無駄に消費されてしまうことが多い。長年にわたり、熱水浴や対流式ヒーターが使われてきましたが、これらは非常に非効率的です。ウェーハを準備するために、大量の水や空気を加熱する必要があり、それに莫大なコ...

はじめに まるでよく調整された機械のように動作する現代の工場を想像してみてください。そのような環境では、適切な温度を維持することは単なる付加的な作業ではなく、本来の重要な仕事の一部です。迅速かつ正確に熱を与える必要がある場合、カーボンファイバー製の赤外線ランプが最適です。これらのランプは、必要な瞬...

はじめに 私たちが製造するのは、半導体製造工程の後段で使用される高品質な赤外線ヒーターです。こうした工程では、一定の圧力がかかり、わずかなミスでも大きな影響を与えます。これらは普通のヒーターとは異なり、工場内で日々稼働し続けるために設計されています。稼働を止めないことは、単に便利だというだけでなく...

製造現場では、各ウェーハには一定の熱容量があり、それを超えてはいけません。ソフトベイクやハードベイクの際にわずかな温度変動があっても、線幅のばらつきや不良品の発生、歩留まりの低下といった問題が生じます。赤外線ウェーハヒーターランプのコストというのは、単に注文時に支払う金額だけではありません。それは...