MEMSウェーハの乾燥処理におけるランプの爆発という悪夢を防ぐには、高負荷な生産環境で働いたことがある人ならそのストレスを理解しているでしょう。しかし、MEMSウェーハの乾燥処理中にIRランプが爆発するというのは、最悪の事態です。 問題は単にラインが停止するだけではありません。その後の対応も大変で...

なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、それがお客様の生産ラインにとってなぜ重要なのか） 製造現場では、加熱要素は常に厳しい環境にさらされています。絶えず加熱されたり冷却されたりし、振動も受けます。多くの人々は、何か問題が起きるまでそのことを気にしません。しかし、絶縁体にわずかなひび割れがあ...

製造現場では、わずかな水分でも全体の生産ロットを台無しにしてしまうことがあります。従来の乾燥方法では、一方で熱応力がかかり、もう一方で粒子汚染の問題があります。また、リソグラフィーにおいては、わずか0.5℃の温度変動だけでも、重要な寸法精度を損なってしまいます。そうした問題を解決するために、ウェハ...