スマートファブにおける熱管理の仕組み スマートファブを構築するということは、単にセンサーを機器に取り付けて、うまくいくことを願うだけではありません。実際には、熱をどのように捉えるかという視点を変えることが重要です。 ウェーハの処理においては、非接触型の赤外線センサーが使用されています。赤外線センサ...

センサーの包装で発生する熱の無駄遣いを止めましょう。 スマートセンサー用のウエハーを硬化させる際、1ワットというのも非常に重要です。問題は単に熱を生成することだけではなく、その熱が実際にウエハーに届くかどうかという点です。もし熱が機械の内部だけを温めてしまったら意味がありません。 そこで役立つのが...

MEMSウェーハの乾燥処理におけるランプの爆発という悪夢を防ぐには、高負荷な生産環境で働いたことがある人ならそのストレスを理解しているでしょう。しかし、MEMSウェーハの乾燥処理中にIRランプが爆発するというのは、最悪の事態です。 問題は単にラインが停止するだけではありません。その後の対応も大変で...

空気を加熱するのをやめよう：ウェーハを処理するためのより合理的な方法 もし実際に工場内でカーボンニュートラルを達成したいのであれば、古い方式の抵抗式オーブンに頼るのはやめなければなりません。そうしたオーブンはエネルギーを多く消費します。代わりに、精密なIR加熱方式が採用されています。 その原理は簡...

製造現場では、水素センサー用のヒーターは温度変動に耐えられない。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃ほどの温度変動があると、寸法のばらつきが急激に大きくなります。また、ベイク中に発生する粒子も歩留まりを低下させます。ここで求められるのは、単なる「許容範囲」ではなく、再現性です。 重要なのは、クォー...