省エネ型半導体ヒーター

半製品の炭素削減：なぜ短波赤外線が最適なのか 正直に言えば、従来の抵抗炉はエネルギーの無駄遣いがひどい。ウェハーを加熱するために、チャンバ全体を温めるのに多大な時間がかかってしまう。これは明らかにエネルギーの浪費だ。 そのため、私たちは短波赤外線ランプを採用しました。周囲のものを温めるのではなく、...