MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

MEMSウェーハの乾燥処理におけるランプの爆発という悪夢を防ぐには、高負荷な生産環境で働いたことがある人ならそのストレスを理解しているでしょう。しかし、MEMSウェーハの乾燥処理中にIRランプが爆発するというのは、最悪の事態です。 問題は単にラインが停止するだけではありません。その後の対応も大変で...