반도체 제조 장비가 “오븐”처럼 변하는 것을 막으세요. 일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 방출된다는 것입니다. 그러한 규소 램프를 좁은 금속 챔버 안에 넣으면, 엄청난 양의 에너지가 벽면에 부딪힙니다. 이로 인해 장비의 외부가 거대한 방열판처럼 작...

캐비닛 벽을 가열하는 것을 그만두세요 대부분의 가열 요소는 전구와 비슷합니다. 즉, 열을 모든 방향으로 방출하죠. 공간이 좁은 반도체 제조 장비에서 이런 상황은 재앙적입니다. 결국, 장비의 벽을 가열하는 데 엄청난 에너지가 낭비됩니다. 우리는 이런 상황을 자주 목격합...

반제품의 탄소 배출량을 줄이는 방법: 왜 단파 적외선이 최선인가? 솔직히 말해, 전통적인 저항식 난방 장치들은 에너지를 엄청나게 낭비합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 데우는 데 너무 많은 시간이 소요되므로, 결국 에너지가 낭비됩니다. 그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사...

오븐을 기다리지 마세요: 반제품 가공에 있어서 적외선이 열공기보다 우월한 이유 아직도 너무 많은 반도체 생산 라인들이 열공기를 이용하고 있습니다. 그 이유는 대체로 “우리는 항상 그렇게 해왔기 때문”입니다. 하지만 구식 설비를 사용한다면, 매일매일 ‘시간적 비용’을...

반도체 운반대에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요. 클린룸에서 웨이퍼를 이동시킬 때는 온도가 가장 중요합니다. 온도가 떨어지면 생산 효율도 저하됩니다. 그게 전부입니다. 일반적인 히터들은 효율이 매우 낮습니다. 열이 360도로 사방으로 방출됩니다. 문제는 그 에너지의...

제조 현장에서는 프로브 카드가 관찰 장비 아래에 있어서 다음 로트의 테스트를 기다리고 있습니다. 웨이퍼의 온도가 아주 약간이라도 변동하면, 파라미터 설정이 제한되고 생산성도 떨어집니다. 우리는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 프로브가 닿는 부분에 웨이퍼 가열기를 장...