반도체 제조 장비가 “오븐”처럼 변하는 것을 막으세요.
일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 방출된다는 것입니다. 그러한 규소 램프를 좁은 금속 챔버 안에 넣으면, 엄청난 양의 에너지가 벽면에 부딪힙니다. 이로 인해 장비의 외부가 거대한 방열판처럼 작동하게 됩니다. 결과적으로 외부가 너무 뜨거워져서 작업자들이 화상을 입을 수 있으며, 냉각 시스템도 부담을 겪게 됩니다. 정말 엉망진창인 상황입니다.
금 도금으로 해결하기
이 문제를 해결하기 위해 규소 램프의 뒷면에 얇은 금 층을 입혀줍니다. 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 그래서 열이 기계 내부로 들어가는 대신 바로 앞쪽으로 반사됩니다. 이렇게 되면 램프가 일반적인 난방기구가 아닌 정밀한 도구로 작동하게 됩니다. 웨이퍼나 기판에 필요한 위치에 집중된 빔이 전달됩니다. 더 이상 장비 전체가 뜨거워지는 문제는 없습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 에너지가 한 방향으로만 전달되기 때문에 램프의 앞부분이 더 뜨거워집니다. 더 이상 양쪽 방향으로 열이 발산될 수 없습니다. 램프 홀더가 그러한 높은 온도를 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 손상될 수 있습니다.
또한, 배선에 있어서도 주의해야 합니다. 고출력의 단파 램프는 많은 전류를 소모합니다. 만약 전원 공급 장치가 그에 맞지 않는다면, 전압이 떨어져서 장비의 성능이 저하될 수 있습니다. 사양을 미리 확인한다면 이러한 문제를 쉽게 피할 수 있습니다.
게다가, 장비의 내부를 시원하게 유지하면 단순히 작업자의 피부를 보호하는 것뿐만 아니라, 장비 자체도 보호할 수 있습니다. 캐비닛 내부가 시원하면 PCB와 센서가 손상되는 것을 막을 수 있습니다. 그러면 모든 것이 더 오래 지속됩니다.