반도체용 금 도금 적외선 램프
반도체 제조 장비가 “오븐”처럼 변하는 것을 막으세요.
일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 방출된다는 것입니다. 그러한 규소 램프를 좁은 금속 챔버 안에 넣으면, 엄청난 양의 에너지가 벽면에 부딪힙니다. 이로 인해 장비의 외부가 거대한 방열판처럼 작...
금색 반사판이 장착된 적외선 전구
높은 온도 환경에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
고부하의 생산 라인을 운영하고 있다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 등불이 고장 나면, 석영 조각들과 증발된 텅스텐 입자들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 단순한 가동 중단 문제가 아니라, 전체 제품군...
쌍관형 골드 코팅 램프
열 낭비를 막으세요: IR 램프를 보다 효과적으로 사용하는 방법
대부분의 적외선 램프는 열을 360도로 방사하기 때문에 다소 문제가 있습니다. 공간이 제한된 반도체 장비를 사용할 경우, 이는 심각한 문제가 됩니다.
장비의 벽면들은 그러한 열 에너지를 모두 흡수하게 됩...