반도체 운반대에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요.
클린룸에서 웨이퍼를 이동시킬 때는 온도가 가장 중요합니다. 온도가 떨어지면 생산 효율도 저하됩니다. 그게 전부입니다.
일반적인 히터들은 효율이 매우 낮습니다. 열이 360도로 사방으로 방출됩니다. 문제는 그 에너지의 절반이 그냥 운반대의 프레임 속으로 사라진다는 것입니다. 이는 에너지의 낭비입니다.
그래서 우리는 금을 사용합니다.
반사판에 얇은 금층을 코팅함으로써 열의 이동 방향을 조절할 수 있습니다. 금은 적외선을 효과적으로 반사합니다. 그래서 열이 하우징 안으로 스며들어 금속을 따뜻하게 만드는 대신, 금층이 그 적외선을 다시 웨이퍼 쪽으로 반사해줍니다.
이렇게 해서 흩어진 열이 집중된 광선이 됩니다. 열은 정확히 필요한 곳으로 가게 됩니다.
가장 좋은 점은, 에너지를 집중시키기 때문에 원하는 온도를 얻기 위해 더 많은 전력을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 단순히 더 많은 에너지를 사용하는 것이 아니라, 기존의 에너지를 더 효율적으로 활용하는 것입니다. 게다가, 클린룸도 엄청난 열 부하를 견디지 않아도 되므로 HVAC 시스템도 도움을 받습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 고밀도 적외선 방출기는 매우 뜨거워집니다. 정말로 매우 뜨거워집니다.
운반대에 적절한 단열 처리나 열 차단 장치가 없다면, 그 열이 프레임 안으로 스며들게 됩니다. 재료를 제대로 선택하지 않으면 프레임이 변형될 수도 있습니다. 핵심은 방출기의 성능과 운반대의 구조 사이에서 적절한 균형을 찾는 것입니다.
이러한 장치들을 사용할 때는, 그냥 그 자리에 바로 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 별다른 준비 없이도 그 자리에 잘 들어맞습니다.
단 한 가지만 기억하세요. 깨끗하게 유지해야 합니다. 금은 까다로운 소재입니다. 반사판에 화학물질이 남으면 반사율이 떨어집니다. 그러면 히터는 두 배의 노력을 기울여야 하고, 그 결과 램프가 예상보다 빨리 고장나게 됩니다. 깨끗하게 유지한다면 오랫동안 사용할 수 있습니다.