스마트 팹에서의 열 관리 방법 스마트 팹을 구축하는 것은 단순히 다양한 센서를 도구에 장착해보고 최선의 결과를 기대하는 것이 아닙니다. 진정으로 중요한 것은 열을 바라보는 방식을 바꾸는 것입니다. 웨이퍼 처리의 경우, 접촉하지 않는 적외선(IR) 시스템이 사용됩니다....

편린 방지: 웨이퍼 경화 과정에서의 문제 해결 방법 클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 “조금이라도” 먼지가 있어서는 안 됩니다. 아주 작은 편린 하나나, 저가형 가열 소자에서 나오는 가스만으로도 전체 실리콘 제품이 쓸모없게 됩니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 그래...

열을 낭비하지 마세요. 솔직히 말해서, 웨이퍼를 가열하는 과정은 종종 혼란스러울 수 있습니다. 일반적인 석영 램프를 사용한다면, 결국은 제품에 전혀 도달하지 않는 에너지를 지불하게 되는 셈입니다. 그 램프들은 모든 방향으로 열을 방출하는데, 그 중 절반은 그냥 기계의...

MEMS 웨이퍼 건조 과정에서 발생하는 램프 폭발의 재앙을 막는 방법 고부하 환경에서 작업해본 사람이라면 그 스트레스를 잘 알 것입니다. 하지만 MEMS 웨이퍼를 건조하는 동안 IR 램프가 폭발하는 것만큼 끔찍한 상황은 없습니다. 문제는 단순히 생산라인이 멈추는 것뿐...

왜 무연 반도체 제조에 적외선 경화 기술을 사용하는가? 산업계는 “친환경적이고 무연인” 기준을 추구하고 있습니다. 이는 이론상으로는 훌륭한 방법처럼 보이지만, 실제로는 제조 과정을 복잡하게 만듭니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해 왔습니다. 문제는, 결국 엄청...

공기를 가열하는 것을 그만두자: 웨이퍼를 처리하는 더 스마트한 방법 만약 우리가 공장에서 탄소 중립 목표를 달성하고 싶다면, 이제는 구식의 저항식 오븐에 의존하는 것을 그만둬야 합니다. 그런 오븐들은 에너지 소비가 엄청납니다. 대신, 우리는 정밀한 적외선 가열 방식을...

생산 현장에서는 단 한 개의 워터마크만으로도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다. 기존의 건조 방식은 열 스트레스와 입자 오염이라는 두 가지 문제를 동시에 해결해야 하는 까다로운 상황에 처해 있습니다. 리소그래피 공정에서는 오차가 허용되지 않습니다. 포토레지스트 처리...

팹 내에서 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 1°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼가 폐기됩니다. 일반적인 오븐들은 챔버 전체를 가열하지만, 웨이퍼 자체는 가열하지 않습니다. 우리는 열을 웨이퍼에 직접 전달할 수 있는...

제조 현장에서는 프로브 카드가 관찰 장비 아래에 있어서 다음 로트의 테스트를 기다리고 있습니다. 웨이퍼의 온도가 아주 약간이라도 변동하면, 파라미터 설정이 제한되고 생산성도 떨어집니다. 우리는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 프로브가 닿는 부분에 웨이퍼 가열기를 장...

팹에서는 각 웨이퍼마다 일정한 열량이 있으며, 그 한도를 넘어서는 안 됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 아주 약간이라도 변하면, 회선의 굵기가 달라지거나 불순물이 생기고, 결국 생산 효율이 떨어집니다. 적외선 웨이퍼 히터 램프의 비용은 단순히 주문...