캐비닛 벽을 가열하는 것을 그만두세요
대부분의 가열 요소는 전구와 비슷합니다. 즉, 열을 모든 방향으로 방출하죠. 공간이 좁은 반도체 제조 장비에서 이런 상황은 재앙적입니다. 결국, 장비의 벽을 가열하는 데 엄청난 에너지가 낭비됩니다.
우리는 이런 상황을 자주 목격합니다. 웨이퍼는 적정 온도에 도달하지만, 캐비닛의 외부 표면은 너무 뜨거워져서 작업자가 화상을 입을 수도 있습니다. 이는 효율적이지도 않으며, 위험하기도 합니다.
방향성 가열 방식의 원리
이 문제를 해결하기 위해 단파 적외선 램프를 사용합니다. 특수한 코팅을 하거나 포물선형 반사경을 사용함으로써, 열을 원하는 위치로 정확하게 보낼 수 있습니다. 공기나 챔버 자체를 가열하는 대신, 에너지가 직접 기판에 전달됩니다. 그 결과, 장비의 몸체로 새어 나가는 ‘잉여 열’이 줄어듭니다. 이는 훨씬 더 효과적인 방법입니다.
냉각 시스템에도 휴식을 줄 수 있습니다
가장 좋은 점은, 장비를 제어하지 않아도 된다는 것입니다. 캐비닛 벽이 열을 흡수하지 않으므로, 냉각장치는 전자부품이 손상되는 것을 막기 위해 과도하게 작동할 필요가 없습니다. 이렇게 하면 장비 전체의 열负荷이 크게 줄어듭니다. 모든 것이 더 시원하게 작동합니다.
센서 사용 시 주의사항
센서를 어디에 배치할지 신중해야 합니다. 적외선 가열은 매우 집중된 형태이므로, 잘못된 위치에 센서를 설치하면 오류가 발생할 수 있습니다. 가능한 한 기판에 가까운 곳에 센서를 배치해야 합니다. 그렇지 않으면 공기의 온도만 측정하게 되어 아무런 도움이 되지 않습니다.
장단점
이 램프들은 강력한 열을 발생시킵니다. 이는 빠른 가열 속도에는 유리하지만, 램프의 석영 커버에 과도한 부담을 줍니다. 또한, 이 램프들을 그냥 오래된 장비에 넣고 기대하는 것은 위험합니다. 먼저 전력 공급 상태를 확인해야 합니다. 너무 많은 전력을 한 곳에 집중시키면 웨이퍼에 과열이 발생할 수 있습니다. 따라서 전력 설정을 조절하여 균형을 맞춰야 합니다.