반도체 세척 공정을 더 효율적으로 처리하는 방법
솔직히 말해서, 반도체 제조 공정에서 세척 단계는 에너지가 낭비되는 가장 큰 부분입니다. 오랫동안 우리는 뜨거운 물이나 대류식 히터를 사용해왔지만, 이러한 방식은 엄청난 에너지 낭비를 초래합니다. 웨이퍼를 준비하기 위해 공기와 수많은 물을 가열하는 데 엄청난 비용이 듭니다.
그래서 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 사용하게 되었습니다. 이 램프들은 방 전체를 가열하는 대신, 열을 웨이퍼 표면에 집중시켜 줍니다.
혼란스러운 환경 문제 해결
세척 환경은 매우 까다롭습니다. 물과 전기는 서로 섞이지 않으며, 만약 물방울 하나라도 전극에 닿으면 램프가 손상됩니다. 이를 방지하기 위해 특수한 석영 소재의 케이스와 밀폐형 커버를 사용합니다. 이렇게 하면 습기가 들어오지 않아 장비의 수명이 연장됩니다. 단파 적외선을 사용하면 열이 기판 깊숙이 전달되어 웨이퍼가 더 빨리 건조됩니다. 그 결과, 기계의 크기를 줄일 수 있습니다. 공간을 절약할 수 있다는 것은 분명한 장점입니다.
탄소 배출 및 비용 절감
“친환경 공장”을 만들고 싶다면 열 관리가 중요합니다. 기존의 증기 난방 방식은 엄청난 탄소 배출을 유발합니다. 반면, 전기 적외선을 사용하면 완전한 제어가 가능합니다. 몇 밀리초 만에 열을 켜거나 끌 수 있으므로, 생산라인이 멈춰 있을 때도 에너지가 낭비되지 않습니다.
실제적인 단점들
물론 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 고출력 램프는 강력한 성능을 제공하지만, 전력 공급 시스템에 부담을 줄 수 있습니다. 선로가 최대 전류를 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전압이 떨어질 수 있습니다.
팁: 반사판을 깨끗하게 유지하세요!
반사판에 화학물질이 쌓이면 효율성이 15~20%나 떨어집니다. 그렇게 되면 램프는 더 많은 에너지를 소모해야 하고, 그로 인해 수명이 단축됩니다. 조금만 관리해주면 큰 도움이 됩니다.
가장 좋은 점은, 이 램프들이 기존의 구식 난방 장치를 대체할 수 있다는 것입니다. 단지 하드웨어를 교체하고 PID 컨트롤러에 연결하기만 하면 됩니다. 그러면 웨이퍼당 소비되는 전력량이 줄어들 것입니다.