웨이퍼 공정용 온도 센서

스마트 팹에서의 열 관리 방법 스마트 팹을 구축하는 것은 단순히 다양한 센서를 도구에 장착해보고 최선의 결과를 기대하는 것이 아닙니다. 진정으로 중요한 것은 열을 바라보는 방식을 바꾸는 것입니다. 웨이퍼 처리의 경우, 접촉하지 않는 적외선(IR) 시스템이 사용됩니다....