천천히 가열되는 과정에서 시간을 낭비하지 마세요.
솔직히 말해서, 강제 대류 방식은 효율이 형편없습니다. 결국 공기를 먼저 가열해야만 그 공기가 기판을 따뜻하게 할 수 있습니다. 반도체 정밀 가공 분야에서 이러한 지연 시간은 치명적인 문제입니다. 이로 인해 생산 속도가 늦어지고, 수많은 시간이 낭비됩니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 중간 단계를 생략합니다. 대신 오존이 없는 적외선 램프를 사용합니다.
실제 작동 원리
적외선 램프는 바람을 기다리는 대신 전자기파를 사용합니다. 따라서 열이 직접 목표물에 전달됩니다.
오염 문제가 걱정될 수도 있겠지만, 그래서 우리는 오존이 없는 석영 커버를 사용합니다. 이를 통해 스펙트럼이 깨끗하게 유지되어, 오존으로 인해 클린룸이 오염되거나 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.
그 결과, 가열 시간이 거의 즉시 이루어집니다. 몇 분에서 몇 초로 줄어듭니다.
더 많은 열, 더 적은 공간
이 램프들은 아주 작은 공간에도 큰 열량을 제공합니다. 공간이 제한된 환경에서 사용하기에 매우 적합합니다. 게다가 열이 특정 방향으로 전달되므로, 에너지가 어디로 가는지 정확하게 조절할 수 있습니다. 기계 전체에 열이 골고루 퍼지는 것을 막고, 하우징이 과열되는 것을 방지할 수 있습니다. 정말 효과적입니다.
주의해야 할 점
단점이 있다면, 직접적인 방사선이 너무 강하다는 것입니다.
가열 과정에서 시간을 많이 절약할 수 있지만, 에너지 밀도가 너무 높기 때문에, ‘꺼짐’ 상태에서도 적절한 냉각이 필요합니다. 냉각이 제대로 이루어지지 않으면 기판이 과열될 수 있습니다. 이는 타협점이지만, 관리가 가능합니다.
왜 굳이 교체해야 할까요?
대량 생산 및 고정밀 가공이 필요한 곳에서는 이미 이 방식을 도입했습니다.
대부분의 정밀 가공 라인에서는 열 처리 과정을 간단히 교체하기만 하면 됩니다. 예측할 수 없는 공기 흐름과 싸우는 대신, 광자를 제어할 수 있습니다.
결국, 매번 교대 근무 시 더 많은 웨이퍼가 처리될 수 있다는 것입니다. 그게 전부입니다.