왜 골드 코팅된 반사체가 웨이퍼의 성능에 중요한지
웨이퍼를 건조할 때는 모든 와트가 매우 중요합니다. 에너지가 그냥 사라져버리는 것을 보는 것보다 더 실망스러운 일은 없습니다. 일반적인 알루미늄 반사체도 괜찮지만, 빛을 너무 많이 흩뜨립니다. 마치 렌즈가 깨진 손전등을 사용하는 것과 같아서, 빛이 필요한 곳이 아닌 다른 곳으로 가버립니다.
바로 여기서 금이 유용해집니다.
금의 “비밀 무기”
금은 은이나 알루미늄보다 적외선을 처리하는 데 훨씬 뛰어납니다. 반사체 표면에 얇은 금 층을 추가함으로써, 열이 기계의 본체로 스며드는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 열이 웨이퍼로 직접 전달되어, 훨씬 빠르게 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 이는 훨씬 효율적인 방식입니다.
열 관리
고출력 적외선 램프는 매우 강력합니다. 하지만 그 강력함에는 단점도 있습니다. 바로 엄청난 양의 열이 발생한다는 점입니다. 만약 고밀도 배열을 사용한다면, 적절한 냉각 시스템이 필요합니다. 냉각이 제대로 되지 않으면 기계의 본체가 변형될 수 있으며, 비싼 금 코팅도 손상될 수 있습니다.
전문가의 조언: 컨트롤러의 PID 설정을 금의 방사율에 맞게 조정해야 합니다. 그렇지 않으면 목표 온도를 초과하여 문제가 생길 수 있습니다.
실제 환경에서의 활용
이러한 반사체를 디지털 적외선 건조기 컨트롤러와 연결하면 작업이 훨씬 용이해집니다. SCR이나 PWM 컨트롤러와 연결하여 모든 것을 안정적으로 유지할 수 있습니다.
가장 좋은 점은, 건조 구역을 줄일 수 있다는 것입니다. 금이 매우 효율적이기 때문에, 목표 온도에 도달하기 위해 더 많은 램프가 필요하지 않습니다.
물론 초기 비용은 높습니다. 금은 저렴한 재료가 아니죠. 하지만 낮은 에너지 비용과 빠른 처리 속도를 통해 그 비용을 회수할 수 있습니다. 게다가 300mm 웨이퍼를 처리할 때, 단 한 곳이라도 차가운 부분이 생기면 안 됩니다. 이 경우, 금 코팅이 유일한 해결책입니다.