露光後ベイク PEB ヒーター

リソグラフィーフロアでは、PEBの温度誤差は、CDの偏差やオーバーレイのずれを引き起こす大きな要因となります。ウェハ全体にわたって1℃の温度不均一があるだけで、フォトレジストのパターンが規格から外れてしまい、何時間もかけて行った作業が無駄になってしまいます。私たちは、このような状況を防ぐために、露...