ディスプレイドライバーIC処理ヒーター

ファブフロアでは、ディスプレイドライバーICラインにおいて熱ドリフトは許容されない。ウェハー洗浄後の乾燥、リソグラフィ前のフォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク、封止後のパッケージ硬化はすべて同じ要件に集約される：すべてのサイクルで再現性のある温度管理。ヒーターの制御が外れると、ラインの歩...