赤外線ヒーターと揮発性化学物質が接触したときの安全対策 正直に言って、赤外線ランプを化学洗浄ラインに設置するのは少し心配なことです。火災や爆発を引き起こしやすい溶剤を扱う場合、わずかな火花や露出した部品だけでも、単なる技術的な問題ではなく、大惨事を招く可能性があります。 そのため、私たちは単にラン...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームで通常の赤外線ランプを使用してみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ほとんどのランプは接着剤や安価な金属で固定されており、そのような材料では高温に耐えられません。熱くなると、すぐにガスが発生し...

空気を加熱するのをやめよう：ウェーハを処理するためのより合理的な方法 もし実際に工場内でカーボンニュートラルを達成したいのであれば、古い方式の抵抗式オーブンに頼るのはやめなければなりません。そうしたオーブンはエネルギーを多く消費します。代わりに、精密なIR加熱方式が採用されています。 その原理は簡...

はじめに 私たちが製造するのは、半導体製造工程の後段で使用される高品質な赤外線ヒーターです。こうした工程では、一定の圧力がかかり、わずかなミスでも大きな影響を与えます。これらは普通のヒーターとは異なり、工場内で日々稼働し続けるために設計されています。稼働を止めないことは、単に便利だというだけでなく...

製造現場では、わずかな水分でも全体の生産ロットを台無しにしてしまうことがあります。従来の乾燥方法では、一方で熱応力がかかり、もう一方で粒子汚染の問題があります。また、リソグラフィーにおいては、わずか0.5℃の温度変動だけでも、重要な寸法精度を損なってしまいます。そうした問題を解決するために、ウェハ...