半導体ウェーハ用プローブヒーター

製造現場では、プローブカードがスコープの下で待機しており、次のロットの処理を行う準備が整っています。ウェハの温度がわずかに変動しても、パラメータの範囲が狭まり、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、プローブが接触する直近の位置でその温度変動を防ぐために、このウェハ用プローブヒーターを開発しました...