半導体製造用の装置が「オーブン」のようになってしまうのを防ぎましょう。 通常の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。そのような石英ランプを狭い金属製のケースに入れると、莫大なエネルギーがケースの壁面に当たります。これにより、装置の筐体自体が巨大な放熱器のようになってしまいま...

高温環境下でウェーハを清潔に保つ方法 大量生産ラインを運用している方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。ランプが壊れてしまうと、クォーツの破片や蒸発したタングステンがウェーハに降り注ぎます。これは単なる停止時間の問題ではなく、一括での製品損傷という大災害につながります。 だからこそ、私たちは金...

熱の無駄遣いをやめよう：IRランプをより効率的に扱う方法 ほとんどのIRランプは、あらゆる方向に熱を放出してしまいます。つまり、360度全方向に放射されるのです。もし、スペースが限られている半導体製造装置を使用している場合、これは大きな問題になります。 装置の内壁がその余分なエネルギーを吸収してし...