クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100のクリーンルームで通常の赤外線ランプを使用してみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ほとんどのランプは接着剤や安価な金属で固定されており、そのような材料では高温に耐えられません。熱くなると、すぐにガスが発生し...

製造現場では、わずかな水分でも全体の生産ロットを台無しにしてしまうことがあります。従来の乾燥方法では、一方で熱応力がかかり、もう一方で粒子汚染の問題があります。また、リソグラフィーにおいては、わずか0.5℃の温度変動だけでも、重要な寸法精度を損なってしまいます。そうした問題を解決するために、ウェハ...