熱の無駄遣いをやめよう：IRランプをより効率的に扱う方法
ほとんどのIRランプは、あらゆる方向に熱を放出してしまいます。つまり、360度全方向に放射されるのです。もし、スペースが限られている半導体製造装置を使用している場合、これは大きな問題になります。
装置の内壁がその余分なエネルギーを吸収してしまうため、結果として装置本体が過度に熱くなってしまいます。これは安全性にとって悪影響を及ぼすだけでなく、電力の無駄遣いにもなります。
画期的な解決策
この問題を解決するために、2本のフィラメントがある部分に金コーティングを施します。なぜ金かというと、金は赤外線を効果的に反射するからです。
このコーティングにより、熱が装置の内部に漏れるのを防ぎ、前方に向けて放出されます。そうすることで、熱がウェーハや基板に正確に当たり、装置の内壁は触っても冷たく保たれます。
より多くのパワー、同じスペース
また、2本のフィラメントを1つのクォーツケースに入れる方式もあります。これにより、ランプのサイズを大きくせずに、より多くの放熱面積を得ることができます。つまり、より集中した熱が得られるのです。
ただし、注意点もあります。電源装置に注意が必要です。高ワット数のランプは多くの電流を消費します。もし配線が十分でない場合、電圧降下が起こり、起動時間も長くなってしまいます。
気を付けるべき点
これらのランプは通常、標準的な取り付け枠に簡単に装着できますが、注意が必要です。金コーティングはデリケートなので、取り付け時に傷がつくと、熱が漏れ出す「ホットスポット」ができてしまいます。
また、手袋を着用することも重要です。皮膚から出る油分がクォーツに悪影響を与える可能性があります。
確かに、金コーティングを施したランプは、通常の透明なクォーツランプよりも初期コストが高くなります。しかし、装置が過熱しないように追加の冷却システムに莫大な費用をかける必要がないと考えると、コストパフォーマンスは良くなります。