如何防止碎片产生：我们如何处理晶圆固化问题
在100级洁净室中工作时，根本不存在“少量灰尘”这种概念。哪怕只有一小片碎屑，或是廉价加热元件产生的微量气体，都足以让整批硅晶圆变得无法使用。这简直就是一场噩梦。
正因如此，我们不会使用普通材料。我们会选用高纯度的合成石英来制作红外固化灯及反射器。
秘诀就在于二氧化硅本身。
大多数灯具使用的是普通石英，但我们则通过去除其中的杂质来防止金属离子的迁移。如果你曾经见过灯具在运行过程中冒烟的情况，那你就能明白我们需要避免什么了。我们会把石英管密封得严严实实，防止卤素气体泄漏到工作区域内，从而保持环境的清洁。
至于反射器，如果质量不好，那么灯具就毫无用处了。我们设计的反射器能够将短波红外光精准地照射到晶圆上。由于能量高度集中，机器的其他部分就不会吸收那些多余的热量。这样一来，真空密封装置和固定支架就不会过热，您就可以提高功率而不必担心损坏设备。
不过，有一点需要小心。
这些灯具的温度非常高。它们虽然能快速提升温度以实现固化效果，但如果不注意的话，就会让冷却系统不堪重负。如果气流不足，灯丝就会很快烧坏。请务必遵循严格的冷却方案，这样您的设备才能正常运转，您的钱包也会因此受益。
我们设计的这些产品，其实只是作为半导体加工设备的简单替代品而已。没有复杂的结构，只有高品质的材料，确保晶圆始终处于完美状态。