停止加热空气：更智能的晶圆处理方式
如果真想实现工厂的碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。它们耗能极高。相反，我们应该采用精确的红外加热技术。
原理很简单：既然只需要让晶圆本身变热，那就没必要加热整个真空室或晶圆周围的空气。我们可以利用红外传感器和灯泡，将热量精确地传递到需要加热的位置，从而避免能量浪费。
其工作原理
传统的加热方式依靠对流来传递热量，这种方式效率低下且耗能巨大。而红外加热则利用电磁辐射来传递能量。通过调整灯泡的发射强度，使得热量能够直接作用于硅片上。这样的方式速度极快。由于升温时间大大缩短，每块晶圆所需的电能也显著减少。
如何控制温度
不能只是简单地施加热量，还必须严格控制温度。我们会使用高速红外传感器来实时监测晶圆表面的温度。这些传感器会与PID控制器相连，从而动态调整灯泡的功率。一旦出现局部过热的情况，系统会立即降低功率，避免晶圆被毁，同时也能减少能源消耗。
存在的挑战
不过，使用高密度的红外灯时，会对设备结构造成很大的热应力。虽然晶圆能快速升温，但周围的部件却会受到影响。因此，必须确保冷却系统足够强大，才能承受这种集中的热量。否则，虽然可以节省能源，但设备却可能会损坏。
对生产流程的影响
用红外加热装置取代旧式的加热装置后，晶圆的固化与退火过程会变得更加高效。对于许多传统生产线来说，这种更换其实相当简单。
我们发现了一个规律：红外传感器的性能越好，能耗就越低。这无疑是一种双赢的局面——既减少了浪费，又降低了废品率，同时还减少了碳排放。