别再浪费能量了
说实话，给晶圆加热的过程其实相当麻烦。如果使用普通的石英灯，那相当于在为那些根本无法照射到产品上的能量买单。这些灯向各个方向散发热量，其中一半的能量会白白流失在机器的机壳里，实在是一种浪费。
我们找到了更好的方法——使用镀金反射器来捕捉那些散失的能量，并将其重新导向晶圆上。
为什么选择黄金？
你可能会问，为什么不直接使用抛光的铝材呢？铝材虽然适合用于可见光领域，但这里处理的是红外线辐射。黄金则更能有效反射红外线波。使用镀金表面后，灯发出的每一瓦特能量几乎都能准确地照射到晶圆上。这样，无需增加电压或功率，就能大幅提升热量传递效率。这可是利用了更优的物理原理啊。
当然，也有缺点
不过，将如此集中的能量集中在一个小空间内，会对设备造成很大压力。灯的散热系统会承受巨大负担。如果冷却系统不够强大，电极就容易氧化，从而更快损坏。因此，必须确保冷却系统能够跟上能量释放的速度。
我们通常将这些反射器与短波卤素灯一起使用。这样一来，晶圆的温度就能在几秒钟内上升起来。速度极快！这无疑能大大提升生产效率。
如何实施这一方案
最棒的是，你无需拆掉整个生产线就能实现这一目标。这些反射器可以直接安装在现有的灯具上，因此无需改动电源或重新布线。你只需用这种聚焦型系统替换原来的开放式灯具即可。这样一来，每块晶圆所需的能耗会降低，而表面温度则能保持在理想水平。很简单吧。