可持续晶圆制造解决方案

在晶圆厂车间，热漂移不是教科书上的问题。它表现为软烘后线宽偏差、无法干净烘干的薄膜或封装固化不平整。当烘箱或灯具出现偏差时，产量首先受影响，然后是生产进度，最后是能源费用。可持续晶圆制造不是口号，而是严格控制热预算，确保每一瓦功率、每一分钟、每一片晶圆都物有所值。 技术关键点 我们围绕半导体工艺中...