在智能工厂中有效控制温度 构建智能工厂并不仅仅意味着在设备上安装一些传感器，然后寄希望于它们能发挥最佳作用。实际上，关键在于改变我们看待温度的方式。 在晶圆加工过程中，我们采用了非接触式的红外传感器。红外传感器的优势在于它不会直接接触到晶圆，因此不会造成污染。此外，也不必担心传感器会像散热器一样影...

如何防止碎片产生：我们如何处理晶圆固化问题 在100级洁净室中工作时，根本不存在“少量灰尘”这种概念。哪怕只有一小片碎屑，或是廉价加热元件产生的微量气体，都足以让整批硅晶圆变得无法使用。这简直就是一场噩梦。 正因如此，我们不会使用普通材料。我们会选用高纯度的合成石英来制作红外固化灯及反射器。 秘诀...

别再浪费能量了 说实话，给晶圆加热的过程其实相当麻烦。如果使用普通的石英灯，那相当于在为那些根本无法照射到产品上的能量买单。这些灯向各个方向散发热量，其中一半的能量会白白流失在机器的机壳里，实在是一种浪费。 我们找到了更好的方法——使用镀金反射器来捕捉那些散失的能量，并将其重新导向晶圆上。 为什么...

杜绝MEMS晶圆干燥过程中灯管爆炸的噩梦 如果你曾在高负荷的生产环境中工作过，那就知道那种压力有多大。不过，最可怕的情况还是当IR灯管在MEMS晶圆干燥过程中突然爆炸时。这不仅仅是生产线停止运行的问题，更糟糕的是，石英碎片和钨丝会掉落在晶圆上，造成彻底的灾难。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况...

为何我们要选择红外固化技术来处理无铅半导体材料 业界一直在努力追求“绿色”和“无铅”的生产标准。从理论上来说，这听起来很不错，但实际上，这样的生产方式却给制造过程带来了不少难题。 长期以来，我们一直使用对流式烤箱来进行加热处理。但问题在于，这种方式实际上是在加热一箱空气而已。这不仅浪费能源，而且还...

停止加热空气：更智能的晶圆处理方式 如果真想实现工厂的碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。它们耗能极高。相反，我们应该采用精确的红外加热技术。 原理很简单：既然只需要让晶圆本身变热，那就没必要加热整个真空室或晶圆周围的空气。我们可以利用红外传感器和灯泡，将热量精确地传递到需要加热的...

在芯片制造过程中，哪怕只有一个水印存在，都可能毁掉整批产品。传统的干燥方式存在诸多问题：一方面会有热应力，另一方面则可能存在颗粒污染。而在光刻过程中，任何误差都是不可接受的——在光阻处理过程中，哪怕温度偏差达到0.5℃，都可能导致关键尺寸出现偏差。为此，我们设计了卤素红外光源，用于对晶圆进行干燥处...

在光刻工厂中，光阻软化处理过程中温度只要发生1°C的变化，就足以导致关键尺寸出现偏差，从而浪费大量晶圆。传统的烤箱是加热整个腔室，而非直接加热晶圆本身。我们设计了分区加热系统，将热量精确地传递到晶圆上，同时确保不会超出每层薄膜允许的温度范围。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们的分区红外加热模块...

在制造现场，探针卡处于显微镜的观察范围内，随时准备对下一批芯片进行检测。如果晶圆的温度出现哪怕是很小的波动，参数范围就会立即被限制，从而导致成品率下降。我们设计的这种晶圆加热器正是为了从源头阻止这种温度波动——也就是在探针接触晶圆的位置。 测试中真正重要的因素 该加热器采用短波红外元件，通过石英热...

在芯片制造过程中，每块晶圆都有其允许的温控范围，绝不能超出这个范围。即便是温度出现微小的偏差，也会导致线宽变化、表面瑕疵以及良率下降。红外加热灯的成本并不仅仅体现在采购价格上，它还关系到整个生产过程的稳定性。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们的红外加热灯能够将晶圆表面的温度均匀性控制在亚毫米级...