别再浪费时间在缓慢的加热过程上了
说实话，强制对流式加热方式效率极低。实际上，你只是在加热空气，而空气再去加热基材。在半导体深度加工领域，这种延迟会严重削弱生产效率，浪费大量时间。
我们通过摒弃中间环节来解决这个问题。我们使用无臭氧的红外灯来代替传统加热方式。
其工作原理
与依靠空气流动来加热不同，红外灯利用电磁波直接将热量传递到目标物体上。这样一来，就无需等待空气流动带来的热量传递。
不过，你可能会担心污染问题。为此，我们使用了无臭氧的石英外壳，这样可以确保光谱的纯净度，避免臭氧损害洁净室环境或破坏晶圆。
结果呢？加热过程几乎可以瞬间完成。从几分钟缩短到几秒钟而已。
更高的热量，更小的空间占用
这些红外线灯能在极小的空间内产生大量热量。对于那些空间有限、无法安装大型鼓风机或复杂管道的系统来说，这无疑是个完美的解决方案。
此外，由于热量是定向传递的，你可以精确控制热量的分布。不必让整个机器都处于过热状态，操作更加精准。
需要注意的一点
不过，直接辐射具有很强的破坏性。虽然这样能节省大量时间，但由于能量密度很高，因此必须在冷却系统中做好相应处理。如果冷却系统不够完善，就有可能导致基材过热。这是个需要权衡的问题，但总体来说还是可控的。
为什么值得更换呢？
大多数致力于高产量、高精度加工的工厂都已经采用了这种技术。对于大多数深度加工生产线来说，这种更换其实很简单。你不再需要应对不可预测的空气流动，而是可以直接控制光子带来的热量。归根结底，这意味着每一班次中处理的晶圆数量会增加。就这么简单。