半导体晶圆探针加热器

在制造现场，探针卡处于显微镜的观察范围内，随时准备对下一批芯片进行检测。如果晶圆的温度出现哪怕是很小的波动，参数范围就会立即被限制，从而导致成品率下降。我们设计的这种晶圆加热器正是为了从源头阻止这种温度波动——也就是在探针接触晶圆的位置。 测试中真正重要的因素 该加热器采用短波红外元件，通过石英热...