半導体製造用の装置が「オーブン」のようになってしまうのを防ぎましょう。 通常の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。そのような石英ランプを狭い金属製のケースに入れると、莫大なエネルギーがケースの壁面に当たります。これにより、装置の筐体自体が巨大な放熱器のようになってしまいま...

キャビネットの壁を加熱するのはやめましょう ほとんどの加熱素子は、電球のようにあらゆる方向に熱を放ちます。狭い半導体製造室では、これは大変な問題です。装置の壁を加熱するだけで、大量のエネルギーが無駄に消費されてしまいます。 実際、ウェーハは適切な温度に達しますが、キャビネットの外側の表面があまりに...

半製品の炭素削減：なぜ短波赤外線が最適なのか 正直に言えば、従来の抵抗炉はエネルギーの無駄遣いがひどい。ウェハーを加熱するために、チャンバ全体を温めるのに多大な時間がかかってしまう。これは明らかにエネルギーの浪費だ。 そのため、私たちは短波赤外線ランプを採用しました。周囲のものを温めるのではなく、...

もう、オーブンを待っている時間を無駄にしないでください。なぜ半導体の前処理においては赤外線が熱風より優れているのか。 依然として、多くの半導体製造ラインで熱風を利用しているのを見かけます。それは「昔からそうやってきたから」という理由からです。しかし、古い設備を使っている場合、毎日「時間的なコスト」...

半導体用トロリーでの熱の無駄遣いをやめましょう。 クリーンルーム内でウェハーを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が下がってしまうと、生産効率が低下してしまいます。それだけです。 一般的なヒーターは効率が低いです。熱が360度全方向に放出されてしまいます。問題は、そのエネルギーの半分がトロリ...

製造現場では、プローブカードがスコープの下で待機しており、次のロットの処理を行う準備が整っています。ウェハの温度がわずかに変動しても、パラメータの範囲が狭まり、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、プローブが接触する直近の位置でその温度変動を防ぐために、このウェハ用プローブヒーターを開発しました...