クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、クラス100のクリーンルームで通常の赤外線ランプを使用してみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ほとんどのランプは接着剤や安価な金属で固定されており、そのような材料では高温に耐えられません。熱くなると、すぐにガスが発生したり、微細な破片が剥がれ落ちてしまいます。
ワーフ全体を台無しにするほどのほんの少しのほこりでも問題となるのですから、これは本当に悩ましい問題です。
私たちは、そうした問題を解決するために、安価な部品を使わず、高純度の合成石英や特殊なセラミック製のエンドキャップを使用しました。
なぜシール部が問題の原因になるのか
ほとんどの汚染はシール部から始まります。従来の金属製のクランプの代わりに、高密度のセラミック製のエンドキャップを使用しています。最良な点は、最高温度に達しても何のガスや粒子も放出しないということです。
また、石英管を丁寧に洗浄して金属不純物を除去します。これにより、安価なランプで見られる、ガラス表面が劣化して微小な粒子が発生するという問題も防げます。
適切な材料の選定（そしてその注意点）
私たちは、温度が急上昇しても壊れない溶融石英製のケースを選びました。急速な電力供給にも耐えられ、ひび割れることもありません。また、セラミック製のエンドキャップによって、電気端子が安定して固定されます。
しかし、正直なところ、セラミックはもろいものです。もし設置時にランプをきつく押し込んだり、エンドキャップを鋼鉄製のフレームに衝突させたりすると、割れてしまいます。そのため、設置時には慎重に扱う必要があります。
ラインに設置する方法
これらの発光体は、「ミスゼロ」の環境で使用されます。有機系の接着剤や低融点のはんだを使わないことで、加熱領域が化学的に安定しています。
配線する際のヒントとしては、電源の安定性に注意しましょう。大きな電圧の変動は、石英とセラミックの間のシール部分に過度な負荷をかけてしまいます。適切な電圧を維持し、設置時には丁寧に扱えば、何千回ものサイクルにわたって、出力される粒子を完全に排除することができます。