红外晶圆加热灯的成本

在芯片制造过程中，每块晶圆都有其允许的温控范围，绝不能超出这个范围。即便是温度出现微小的偏差，也会导致线宽变化、表面瑕疵以及良率下降。红外加热灯的成本并不仅仅体现在采购价格上，它还关系到整个生产过程的稳定性。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们的红外加热灯能够将晶圆表面的温度均匀性控制在亚毫米级...