在智能工厂中有效控制温度 构建智能工厂并不仅仅意味着在设备上安装一些传感器，然后寄希望于它们能发挥最佳作用。实际上，关键在于改变我们看待温度的方式。 在晶圆加工过程中，我们采用了非接触式的红外传感器。红外传感器的优势在于它不会直接接触到晶圆，因此不会造成污染。此外，也不必担心传感器会像散热器一样影...

停止让热量在传感器封装中白白流失 在为智能传感器处理晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。真正的挑战在于如何确保热量能够有效地传递到晶圆上，而不是仅仅使机器内部温度上升而已。 这时，金涂层就派上用场了。它彻底改变了我们处理热能的方式。 为什么选择黄金？ 大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于：铝会吸...

杜绝MEMS晶圆干燥过程中灯管爆炸的噩梦 如果你曾在高负荷的生产环境中工作过，那就知道那种压力有多大。不过，最可怕的情况还是当IR灯管在MEMS晶圆干燥过程中突然爆炸时。这不仅仅是生产线停止运行的问题，更糟糕的是，石英碎片和钨丝会掉落在晶圆上，造成彻底的灾难。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况...

停止加热空气：更智能的晶圆处理方式 如果真想实现工厂的碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。它们耗能极高。相反，我们应该采用精确的红外加热技术。 原理很简单：既然只需要让晶圆本身变热，那就没必要加热整个真空室或晶圆周围的空气。我们可以利用红外传感器和灯泡，将热量精确地传递到需要加热的...

在制造车间里，氢气传感器用加热器绝不能出现温度波动。在软烘或硬烘过程中，如果温度出现2°C的波动，那么芯片的关键尺寸分布就会迅速变得不均匀。此外，烘烤过程中产生的颗粒也会降低产品的良率。因此，这里需要的是重复性，而不是仅仅满足一定的容差要求。 其关键在于：我们使用石英和陶瓷材料制成的短波红外元件作...