先进晶圆制造厂的区域供热系统

在光刻工厂中，光阻软化处理过程中温度只要发生1°C的变化，就足以导致关键尺寸出现偏差，从而浪费大量晶圆。传统的烤箱是加热整个腔室，而非直接加热晶圆本身。我们设计了分区加热系统，将热量精确地传递到晶圆上，同时确保不会超出每层薄膜允许的温度范围。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们的分区红外加热模块...