杜绝MEMS晶圆干燥过程中灯管爆炸的噩梦 如果你曾在高负荷的生产环境中工作过，那就知道那种压力有多大。不过，最可怕的情况还是当IR灯管在MEMS晶圆干燥过程中突然爆炸时。这不仅仅是生产线停止运行的问题，更糟糕的是，石英碎片和钨丝会掉落在晶圆上，造成彻底的灾难。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况...

为什么我们要对每盏灯进行测试？这对您的生产过程来说为何如此重要？ 在工厂的干燥线中，加热元件会承受极大的压力——它们不停地被加热、冷却，还会受到震动。大多数人往往直到出现问题时才会想到这个问题。但实际上，绝缘层上的微小裂纹并非简单的“技术故障”，它可能导致生产线停止运转，导致产品报废，甚至可能造成...

在芯片制造过程中，哪怕只有一个水印存在，都可能毁掉整批产品。传统的干燥方式存在诸多问题：一方面会有热应力，另一方面则可能存在颗粒污染。而在光刻过程中，任何误差都是不可接受的——在光阻处理过程中，哪怕温度偏差达到0.5℃，都可能导致关键尺寸出现偏差。为此，我们设计了卤素红外光源，用于对晶圆进行干燥处...