防止半导体加工设备变成“烤炉” 传统红外灯的问题在于：它们会将热量向各个方向散发。当把这种石英灯放入狭窄的金属腔体中时，大量热量会直接作用于腔壁。这样一来，设备的机壳就变成了一个巨大的散热器。不仅设备外壳会变得过热，甚至可能烫伤操作人员；同时，冷却系统也必须加倍努力工作，才能防止设备因过热而损坏。...

停止热量浪费：处理红外灯的更好方法 大多数红外灯的散热情况都很糟糕。它们向各个方向散发热量——360度全方位辐射。如果在空间有限的半导体加工设备中使用这种灯泡，那可就麻烦了。设备的结构会吸收所有这些多余的能源，结果就是设备外壳变得过热，这不仅会影响安全性，还会造成电能的极大浪费。 最佳解决方案 为...