如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你曾尝试在100级洁净室中使用普通的红外灯，那你肯定知道这有多麻烦。因为大多数这类灯都是用胶水或廉价金属制成的，而这类材料根本无法承受高温。一旦温度升高，这些灯就会开始释放有害气体，或者有碎屑脱落。 在那种一粒灰尘就能毁掉整批晶圆的恶劣环境中，这简直就是一场噩...

在芯片制造过程中，哪怕只有一个水印存在，都可能毁掉整批产品。传统的干燥方式存在诸多问题：一方面会有热应力，另一方面则可能存在颗粒污染。而在光刻过程中，任何误差都是不可接受的——在光阻处理过程中，哪怕温度偏差达到0.5℃，都可能导致关键尺寸出现偏差。为此，我们设计了卤素红外光源，用于对晶圆进行干燥处...