可与真空环境配合使用的红外加热器

停止浪费能量：为何应选择真空红外加热方式 如果你从事半导体深加工工作，那你肯定花了很多时间等待腔体达到合适的温度。大多数人仍然选择使用热空气循环系统，因为这是行业标准。但问题在于：强制对流的速度很慢。实际上，你只是先加热空气，然后再让这些空气去加热晶圆。在真空中，这种做法纯粹是浪费时间。 因此，我...