열을 낭비하지 마세요.
솔직히 말해서, 웨이퍼를 가열하는 과정은 종종 혼란스러울 수 있습니다. 일반적인 석영 램프를 사용한다면, 결국은 제품에 전혀 도달하지 않는 에너지를 지불하게 되는 셈입니다. 그 램프들은 모든 방향으로 열을 방출하는데, 그 중 절반은 그냥 기계의 체스트 안으로 사라져 버립니다. 이는 명백한 낭비입니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 금으로 코팅된 반사체를 사용하여 그 낭비되는 에너지를 다시 웨이퍼 쪽으로 보내는 것입니다.
왜 금일까요?
왜 단순히 광택 처리된 알루미늄을 사용하지 않는지 궁금할 수 있습니다. 알루미늄도 눈에 보이는 부분에는 적합하지만, 우리가 다루는 것은 적외선입니다. 금은 적외선을 매우 효율적으로 반사해냅니다. 금으로 코팅된 표면을 사용하면, 램프에서 나오는 거의 모든 에너지가 목표물에 도달합니다. 그 결과, 전압이나 와트수를 높일 필요 없이도 웨이퍼의 온도가 크게 상승합니다. 이것이 바로 더 스마트한 물리학의 원리입니다.
단점도 있습니다.
문제는, 이렇게 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키다 보니 기계에 많은 부담이 가한다는 것입니다. 램프의 하우징도 열을 견뎌내야 합니다. 만약 냉각 시스템이 약하다면 문제가 생길 수 있습니다. 충분한 공기 흐름이 없으면 전극들이 산화되어 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다. 따라서 냉각 시스템이 그 강도를 감당할 수 있도록 해야 합니다.
우리는 보통 이러한 반사체를 단파 할로겐 광원과 함께 사용합니다. 그 결과, 웨이퍼의 온도가 몇 초 만에 상승합니다. 정말 빠릅니다. 그리고 이는 일일 생산량에 큰 영향을 줍니다.
실제 적용 방법
가장 좋은 점은, 이를 구현하기 위해 전체 설비를 바꿀 필요가 없다는 것입니다. 이러한 장치들은 기존 램프에 그대로 설치됩니다. 따라서 전원 공급 장치나 케이블을 수정할 필요가 없습니다. 그저 기존의 램프를 이러한 반사체가 있는 시스템으로 교체하기만 하면 됩니다. 그러면 웨이퍼당 소비되는 전력은 줄어들지만, 웨이퍼의 표면 온도는 원하는 수준을 유지할 수 있습니다. 간단합니다.