편린 방지: 웨이퍼 경화 과정에서의 문제 해결 방법
클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 “조금이라도” 먼지가 있어서는 안 됩니다. 아주 작은 편린 하나나, 저가형 가열 소자에서 나오는 가스만으로도 전체 실리콘 제품이 쓸모없게 됩니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 일반적인 재료를 사용하지 않습니다. IR 경화 램프와 반사판에는 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
비결은 석영에 있습니다.
대부분의 램프는 일반 석영을 사용하지만, 우리는 불순물을 제거하여 금속 이온이 침투하는 것을 막습니다. 만약 램프가 작동 중에 연기를 내는 것을 본 적이 있다면, 우리가 무엇을 피하려는지 알 수 있을 것입니다. 석영 튜브를 단단히 밀봉함으로써 할로겐 가스가 작업 공간으로 유출되는 것을 막습니다. 그렇게 하면 작업 공간이 깨끗하게 유지됩니다.
그 다음은 반사판입니다. 반사판의 성능이 좋지 않으면 램프는 사실상 쓸모가 없습니다. 우리는 반사판을 설계할 때 짧은 파장의 IR 광선을 웨이퍼 위로 정확히 전달할 수 있도록 합니다. 에너지가 집중되기 때문에, 기계의 다른 부분들이 낭비되는 열을 흡수하지 않습니다. 그 결과, 진공 밀봉 구조와 마운팅 브라켓도 시원한 상태를 유지할 수 있습니다. 그래서 과도한 와트 수치를 사용해도 문제가 없습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다.
이 램프들은 매우 뜨거워집니다. 정말 뜨거워요.
경화 과정에서 필요한 빠른 가열이 가능하지만, 주의하지 않으면 냉각 시스템이 망가질 수 있습니다. 공기 흐름이 충분하지 않으면 필라멘트가 너무 빨리 타버릴 것입니다. 반드시 엄격한 냉각 계획을 준수해야 합니다. 그러면 비용도 절약됩니다.
우리는 이러한 램프들을 반도체 장비의 간단한 교체 부품으로 만듭니다. 복잡한 설명은 필요 없습니다. 오직 깨끗한 재료만을 사용하여 웨이퍼를 깨끗하게 유지할 뿐입니다.