חיישן טמפרטורה לכלי עיבוד השבבים
שליטה בחום במפעל החכם בניית מפעל חכם אינה כוללת רק התקנת מספר רב של חיישנים על הכלים, בתקווה לתוצאות טובות. למעשה, מדובר בשינוי הדרך בה אנו מתייחסים...
מחזיר אור לנורת ייבוש הוופרים
כיצד אנו מונעים היווצרות של גרגירי אבק: כיצד אנו מטפלים בתהליך הייבוש של הוופרים
כשאתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אין דבר כזה “רק קצת” אבק....
מחמם שבבים חסכוני באנרגיה
הפסיקו לבזבז אנרגיה בואו נהיה כנים: חימום השבבים הוא בדרך כלל תהליך מסורבל. אם אתם משתמשים במנורות קוורץ רגילות, אתם בעצם משלמים על אנרגיה שלא מגיעה...
מחמם לייבוש של שבבי חיישני MEMS
עצירת הסיוט של פיצוץ הנורות בתהליך ייבוש ה-Wafer ב-MEMS אם אי פעם עבדתם בסביבת ייצור בעומס גבוה, אתם מכירים את הלחץ שנוצר. אך שום דבר לא יכול להשוות...
מרחק בטיחות לחימום השבב
למה אנו עוברים לשימוש בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום לייצור חומרים מוליכים ללא עופרת התעשייה פועלת במרץ לקידום סטנדרטים “ירוקים” וללא עופרת. זה...
חיישן אינפרא אדום מדויק לשבבים
סיימו לחמם את האוויר: דרך חכמה יותר לעיבוד שבבים אם אנחנו באמת רוצים להשיג את מטרות הניטרליות הפחמנית במפעל, עלינו להפסיק להסתמך על אותן תנורים...
פולט אינפרא אדום על בסיס הלוגן לייבוש שבבים
במחלקת הייצור, סטייה קטנה בטמפרטורה יכולה לפגוע בכל אצווה של שבבים. שיטות הייבוש המסורתיות מציבות אתגרים רבים – לחץ תרמי מצד אחד, וזיהום על ידי...
חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים
בחדר הייצור, שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הוואפרים, וכתוצאה מכך לבזבוז כמות גדולה של ואפרים....
חיממן לשבבי מוליכים למחצה
בחדר הייצור, כרטיס הבדיקה נמצא מתחת למיקרוסקופ, בהמתנה לבדיקת המשלוח הבא. אם טמפרטורת הוואפר עולה או יורדת אפילו במעט, הפרמטרים של הבדיקה נפגעים,...
עלות נורת החימום באמצעות אינפרא אדום
בחדר הייצור, לכל וויפר יש “תקציב תרמי” מסוים, ואי אפשר לעבור אותו. כל שינוי בטמפרטורה, אפילו בשליש ממעלה, עלול לגרום לשינויים ברוחב הקווים על פני...