בחדר הייצור, כרטיס הבדיקה נמצא מתחת למיקרוסקופ, בהמתנה לבדיקת המשלוח הבא. אם טמפרטורת הוואפר עולה או יורדת אפילו במעט, הפרמטרים של הבדיקה נפגעים, והאיכות של המוצר יורדת. ייצרנו את מחמם הוואפר הזה כדי למנוע שינויים אלו – דווקא במקום בו המחט נוגעת בוואפר.
מה באמת חשוב במהלך הבדיקה
המכשיר משתמש ברכיבי אינפרא-אדום לטווח קצר, שמספקים חום לוואפר. המערכת מותאמת לתגובה מהירה ולחוסר אינרציה תרמית. האחידות של טמפרטורת הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות של הבדיקות גבוהה, מכיוון שמעגל הבקרה נמצא על הוואפר עצמו, ולא על גוף המחמם. המכשיר יכול להתחבר לתחנות בדיקה סטנדרטיות, והאזור החם מבודד, כך שתנועות הוואפר לא יגרמו להפרעות. המכשיר עובד בסביבה נקייה של רמה 1–100, בזכות חומרים אטומים וזרימת אוויר שאינה חודרת לסביבת הבדיקה.
למה המכשיר עובד טוב בייצור
מחמם הוואפר תוכנן כמודול תרמי שקול לזה של מכשירי שבבים בינלאומיים, והוא עומד באותם סטנדרטים. במבחנים, המכשיר עובד 24/7, ללא הפסקות שנגרמות כתוצאה משינויי טמפרטורה. כאשר בודקים את הפוטורזיסט, המכשיר שומר על טמפרטורות קבועות, כך ששליטה בממדים החשובים של הוואפר לא נפגעת. התוצאה: פחות ניסיונות בדיקה, פרמטרים יציבים, ושימוש פחות באנרגיה, מכיוון שמחזורי החימום קצרים יותר.
כמה הערות פרקטיות
ההתקנה פשוטה, אך המחמם זקוק למקור חשמל נפרד ומסונן, כדי לשמור על איכות האוויר בחדר הנקי ולמנוע פגיעה בשכבות המגן שעל הוואפר עם הזמן. חיוני להתאים את הממשק המכני ואת חיבורי המכשיר לתחנת הבדיקה, כדי שניתן יהיה להשתמש בו מיד. לאחר ההתקנה, המכשיר עובד כתחליף מיידי – אין צורך לשנות את ההוראות של תהליך הבדיקה.